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更新時間：2026-01-07 
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eFLOW Series采用DIC自主研發的“中空絲氣液透過膜"技術，通過向超純水（DIW）中溶解二氧化碳（CO2）氣體，調節水的比電阻值，從而防止靜電引發的“灰塵再附著"及“靜電破壞"。
工作原理：超純水在中空絲膜內部流動，外部通入CO2氣體。氣體透過膜壁溶解于水中并離子化，賦予水導電性以消除靜電。
優勢特點：
結構簡單，故障率低。
采用獨特的管道分配方式，比電阻值控制簡便且穩定性高。
碳酸氣體給氣模塊壽命長（自社制造，提供5年保修）。
Panel Mount Type（P系列）：符合IEA（美國電子工業）標準機架安裝規范。1AP為全清潔規格標準機，2AP可選全清潔規格。
Cabinet Type（C系列）：配備可容納2瓶CO2鋼瓶的機柜，內置比電阻傳感器，可直接連接使用點配管。
模塊配置：1AP/1AC搭載1個模塊；2AP/2AC及3AP/3AC搭載2個模塊。
| 產品型號 | 處理流量范圍 (L/min) | 模塊配置 |
|---|---|---|
| eFLOW 1AP-B02 / 1AC-P201 | 1 – 16 | 1 module |
| eFLOW 2AP-B01 / 2AC-P201 | 5 – 30 | 2 modules |
| eFLOW 3AP-B01 / 3AC-P201 | 10 – 50 | 2 modules |
主要用于半導體制造及清洗過程，包括但不限于：
光罩、光刻膠的清洗。
洗滌塔（Scrubber）清洗。
高壓噴射清洗。
切割（Dicing）工程清洗。
電池清洗。
提供多種定制化選項，包括：
清潔規格（流量至30L/min）。
低比電阻類型。
小型及電氣分離類型。
大流量（100 L/min）類型。
該裝置通過獨的特的膜技術有效解決了超純水清洗中的靜電問題，其模塊化設計和長壽命保障為半導體制造提供了穩定且經濟的解決方案。
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