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更新時間：2026-01-13 
瀏覽次數：11在半導體制造工藝日益微縮、功率器件需求爆發的當下，對晶圓電阻率及薄層電阻的測量精度提出了前的所的未的有的挑戰。針對這一核心痛點，國際電気（Kokusai Electric）推出了其300mm全自動四探針測量系統的旗艦機型——VR300DH1。作為前代明星產品“VR300DSE"的后繼機種，VR300DH1不僅繼承了品牌的優良血統，更通過搭載獨的家的“探針驅動控制系統"，重新定義了高精度電阻率測量的標準。
VR300DH1之所以被譽為“旗艦機型"，根本在于其對探針驅動控制技術的極的致運用。在先的進工藝節點和功率器件制造中，往往涉及極薄膜層或極淺的離子注入層，傳統的測量方式極易因接觸壓力不當而導致測量誤差或損傷晶圓。
該設備利用其核心的探針驅動控制機構，能夠實現對硅晶圓、磁性薄膜等導電樣品的精準測量。用戶可以通過配方（Recipe）設置，針對不同的工藝需求（如極淺注入層）設定最的佳的探針驅動參數。這種精細化的控制能力，確保了在不損傷昂貴晶圓的前提下，獲得高信噪比、高重復性的測量數據。
作為一款面向300mm晶圓廠的全自動設備，VR300DH1在提升生產效率（High Throughput）方面同樣表現出色，致力于降低用戶的整體運行成本（CoO）。
標準化接口：設備標配1個負載端口（Load Port），支持FOUP（前開式晶圓傳送盒），完的全符合SEMI E95標準的操作界面，極大地提升了設備的操作便捷性和與產線的兼容性。
自動化擴展：支持選配300mm生產線用自動化系統，滿足不同規模晶圓廠的自動化搬運需求。
VR300DH1的應用場景不僅局限于常規的硅或多晶硅測量，更深度覆蓋了當前熱門的功率器件制造領域。
功率器件背面工藝：針對功率器件制造中常見的晶圓減薄工藝，VR300DH1提供了專門的選配功能，能夠精準評估晶圓減薄后的薄層電阻，解決背面工藝中的測量難題。
多元化材料適配：無論是離子注入、擴散工藝，還是金屬膜相關工藝，該設備均能提供可靠的測量數據。此外，其選配的低電阻樣品測量范圍，進一步拓寬了其在導電性較強材料上的應用邊界。
為了保證長期運行的穩定性，VR300DH1在智能化維護方面也做了周全考慮：
自動修整：標配或選配的探針尖的端自動修整（Auto Conditioning）功能，有效延長了探針壽命，減少了人工維護頻率。
可視化分析：設備支持繪制電阻率分布的等高線圖和3D圖，讓工藝工程師能夠直觀地觀察晶圓表面的電阻率分布均勻性，快速進行工藝診斷。
國際電気 VR300DH1并非簡單的測量工具，而是集成了核心探針控制算法與全自動傳輸技術的工藝關鍵節點設備。它通過將**“高精度測量"與“高吞吐量生產"**完的美的結合，為半導體制造商在追求更小尺寸、更高性能芯片的道路上，提供了堅實的數據支撐。
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